离 子 镀 膜 机
(ion plating machines)
技术参数：
1、电源电压：3φ380V
2、直流偏压：1000V
3、极限真空：5×10-3Pa
| 型 号 | 镀膜室尺寸(mm) | 工作区间尺寸(mm) | 弧源数 | 弧源功率(Kw) | 偏压电流(A) | 加热器功率(Kw) |
| ZLD-600×620 | φ600×620 | φ350×350 | 2 | 8 | 10 | 15 |
| ZLD-700×780 | φ700×780 | φ400×450 | 2 | 8 | 15 | 18 |
| ZLD-1000×1500 | φ1000×1500 | φ700×1100 | 4 | 16 | 25 | 24 |
| ZLD-1200×2200 | φ1200×2200 | φ900×1800 | 6 | 24 | 50 | 40 |